北海道に半導体の研究開発拠点＝ラピダスなど利用想定―産総研

経済産業省は１２日、同省所管の産業技術総合研究所（産総研）が、北海道千歳市に最先端半導体の研究開発拠点を整備すると発表した。微細化の研究に必要な製造装置を導入し、企業や研究機関が利用できるようにする。同市には回路線幅２ナノメートル（ナノは１０億分の１）の次世代半導体の量産化を目指すラピダスが研究・製造拠点を構える。

研究所は２０２９年度からの稼働を目指す。経産省は２５年度当初予算に施設の建設費用を計上。今年度補正予算案にも９８８億円を盛り込んだ。成立すれば、半導体回路の微細化に不可欠な最先端の極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を導入する。

経済産業省＝東京都千代田区

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